อรรถพล เชยศุภเกตุ; ธนัสถา รัตนะ; สุรสิงห์ ไชยคุณ
(คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา, 2560)
ฟิล์มบางไทเทเนียมคาร์ไบด์เคลือบบนวัสดุรองรับต่าง ๆ ด้วยวิธี ดีซี แมกนีตรอน โคสปัตเตอริง
โดยได้ศึกษาผลของกระแสไฟฟ้าให้กับเป้าสารเคลือบไทเทเนียม และเวลาในการเคลือบที่มีต่อสมบัติ
ทางกายภาพของฟิล์มที่เคลือบได้ด้วย XRD, SEM, ...