กรุณาใช้ตัวระบุนี้เพื่ออ้างอิงหรือเชื่อมต่อรายการนี้: https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/7310
ชื่อเรื่อง: การเตรียมและศึกษาลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไททาเนตที่เคลือบด้วยวิธีแอคตีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง
ชื่อเรื่องอื่นๆ: Preprtion nd chrcteriztion of zirconium titnte thin film deposited by rective mgnetron co-sputtering method
ผู้แต่ง/ผู้ร่วมงาน: นิรันดร์ วิทิตอนันต์
สุรสิงห์ ไชยคุณ
จินดาวรรณ ธรรมปรีชา
มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์
คำสำคัญ: มหาวิทยาลัยบูรพา -- สาขาวิชาฟิสิกส์
ฟิล์มบาง
สปัตเตอริง (ฟิสิกส์)
คุณภาพกำลังไฟฟ้า
เซอร์โคเนียมไททาเนต
วันที่เผยแพร่: 2561
สำนักพิมพ์: คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา
บทคัดย่อ: ฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไททาเนต (ZrTiO4 ) ถูกเคลือบบนกระจกสไลด์ แผ่นซิลิกอน และแผ่นสเตนเลสด้วยวิธีรีแอคตีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง วัตถุประสงค์ของงานวิจัยนี้ศึกษาผลของการเคลือบที่กระแสไฟฟ้าสูงโดยไม่ให้ความร้อนเทียบกับการเคลือบที่กระแสไฟฟ้าสูงและให้ความร้อนที่อุณหภูมิ 600˚C โครงสร้างผลึก ลักษณะเฉพาะสมบัติทางไฟฟ้าและทางแสงของฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไททาเนตถูกตรวจสอบด้วยการเลี้ยวเบนของรังสีเอกซ์ (XRD) กล้องจุลทรรศน์แรง อะตอม (AFM) กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดชนิดฟิลด์อิมิชชัน (FE-SEM) Precision 0 Parametric Analyzer และสเปคโตรโฟโตมิเตอร์ ตามลําดับ เมื่อฟิล์ม ZrTiO4 เคลือบที่กระแสไฟฟ้าสูงกว่า 2.0 A โดยไม่ทําให้ความร้อน พบโครงสร้างผลึกแบบออร์โธรอมบิก ระนาบ (111) เมื่อกระแสไฟฟ้าเท่ากับ 2.5 A โดยไม่ให้ความร้อน มีค่าคงที่ไดอิเล็กตริกสูงและการสูญเสียไดอิเล็กตริกต่ำเท่ากับ 43.38 และ 0.003 ตามลําดับ สําหรับดัชนีหักเห (n) ค่าสัมประสิทธิrการดับสูญ (k) และความหนาแน่นของการบรรจุออปติคัลที่ความยาวคลื่น 650 นาโนเมตรมีค่าเท่ากับ 2.23, 0.008 และ 0.96 ตามลําดับ ในขณะที่แถบพลังงาน (Eg ) มีค่าประมาณ 4.07 eV จากการศึกษานี้พบว่าค่าดัชนีหักเหขึ้นอยู่กับความหนาแน่นของการบรรจุออปติคัล ส่วนฟิล์ม ZrTiO4 ที่เคลือบกระแสไฟฟ้าสูงเท่ากับ 2.5 A และให้ความร้อนที่อุณหภูมิ 600˚C มีค่าคงที่ไดอิเล็กตริกสูง และการสูญเสียไดอิเล็กตริกต่ำเท่ากับ 81.39 และ 0.0018 ตามลําดับ ซึ่งมีค่าคงที่ไดอิเล็กตริกสูงกว่างานวิจัยอื่น เนื่องจากระบบสปัตเตอริงมีพลังงานสูง
รายละเอียด: ดุษฎีนิพนธ์ (ปร.ด.)--มหาวิทยาลัยบูรพา, 2561
URI: https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/7310
ปรากฏในกลุ่มข้อมูล:วิทยานิพนธ์ (Theses)

แฟ้มในรายการข้อมูลนี้:
แฟ้ม รายละเอียด ขนาดรูปแบบ 
Fulltext.pdf10.75 MBAdobe PDFดู/เปิด


รายการทั้งหมดในระบบคิดีได้รับการคุ้มครองลิขสิทธิ์ มีการสงวนสิทธิ์เว้นแต่ที่ระบุไว้เป็นอื่น