การเตรียมฟิล์มบางไทเทเนียมคาร์ไบด์ด้วยวิธี ดีซี แมกนีตรอน โคสปัตเตอริง
สำหรับงานด้านเคลือบเพื่อความสวยงาม

อรรถพล เชยศุภเกตุ; ธนัสถา รัตนะ; สุรสิงห์ ไชยคุณ

dc.contributor.author	อรรถพล เชยศุภเกตุ
dc.contributor.author	ธนัสถา รัตนะ
dc.contributor.author	สุรสิงห์ ไชยคุณ
dc.contributor.other	มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์
dc.date.accessioned	2019-07-12T07:44:13Z
dc.date.available	2019-07-12T07:44:13Z
dc.date.issued	2560
dc.identifier.uri	http://dspace.lib.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/3614
dc.description.abstract	ฟิล์มบางไทเทเนียมคาร์ไบด์เคลือบบนวัสดุรองรับต่าง ๆ ด้วยวิธี ดีซี แมกนีตรอน โคสปัตเตอริง โดยได้ศึกษาผลของกระแสไฟฟ้าให้กับเป้าสารเคลือบไทเทเนียม และเวลาในการเคลือบที่มีต่อสมบัติ ทางกายภาพของฟิล์มที่เคลือบได้ด้วย XRD, SEM, AFM, Raman spectroscopy, XPS และ UV-vis spectrophotometry จากผลการทดลองของฟิล์มที่เคลือบได้ด้วยกระแสไฟฟ้าให้กับเป้าสาร เคลือบไทเทเนียมต่าง ๆ พบว่า ฟิล์มบางไทเทเนียมคาร์ไบด์ที่เคลือบได้บนแผ่นซิลิกอนและ กระจกสไลด์ มีโครงสร้างผลึกแบบเฟซเซ็นเตอร์คิวบิก และเมื่อกระแสไฟฟ้าให้กับเป้าสารเคลือบ ไทเทเนียมเพิ่มขึ้น มีผลทำให้ฟิล์มที่เคลือบได้มีความเป็นผลึก ความหยาบผิว ขนาดเกรน ความหนา และอัตราส่วนของไทเทเนียมต่อคาร์บอนมีค่าเพิ่มขึ้น โดยที่กระแสไฟฟ้าให้กับเป้าสารเคลือบ ไทเทเนียมเท่ากับ 500 mA ทำให้ฟิล์มที่เคลือบได้บนวัสดุรองรับต่างๆ เป็นสารประกอบไทเทเนียม คาร์ไบด์ที่มีสีเทา ส่วนผลการทดลองของฟิล์มไทเทเนียมคาร์ไบด์เคลือบได้ด้วยเวลาในการเคลือบ ต่างๆ พบว่า เมื่อเวลาในการเคลือบเพิ่มขึ้น ส่งผลให้ฟิล์มมีความเป็นผลึก ความหยาบผิว ขนาดเกรน ความหนาและค่าการสะท้อนแสงเพิ่มขึ้น แต่ทำให้อัตราส่วนของไทเทเนียมต่อคาร์บอนมีค่าลดลง โดยผลการวัดสีในระบบ CIE Lab* พบว่าสีของฟิล์มทั้งหมดที่เคลือบได้ที่เวลาต่างๆ อยู่ในโทนสีเทา	th_TH
dc.description.sponsorship	โครงการวิจัยประเภทงบประมาณเงินรายได้ จากเงินอุดหนุนรัฐบาล (งบประมาณแผ่นดิน) ประจำปีงบประมาณ พ.ศ. 2559	th_TH
dc.language.iso	th	th_TH
dc.publisher	คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา	th_TH
dc.subject	ฟิล์มบางไทเทเนียมคาร์ไบด์	th_TH
dc.subject	สารเคลือบไทเทเนียม	th_TH
dc.subject	สาขาวิทยาศาสตร์กายภาพและคณิตศาสตร์	th_TH
dc.title	การเตรียมฟิล์มบางไทเทเนียมคาร์ไบด์ด้วยวิธี ดีซี แมกนีตรอน โคสปัตเตอริง สำหรับงานด้านเคลือบเพื่อความสวยงาม	th_TH
dc.title.alternative	Preparation of Titanium Carbide Thin Films by DC Magnetron Co-sputtering for Decorative Coating	th_TH
dc.type	Research	th_TH
dc.author.email	c_attapol@hotmail.com	th_TH
dc.author.email	tanattha@buu.ac.th	th_TH
dc.author.email	surasing@buu.ac.th	th_TH
dc.year	2560	th_TH
dc.description.abstractalternative	Titanium carbide (TiC) thin films were deposited on different substrates by DC magnetron co-sputtering technique. The effects of Ti target current and deposition time on physical properties of the deposited films were investigated using XRD, SEM, AFM, Raman spectroscopy, XPS and UV-vis spectrophotometry. In the experiment of Ti target current, the results showed that TiC films with face-centered cubic phase were successfully deposited on Si wafers and glass slides. By increasing Ti target current, it could be observed that the crystallinity, surface roughness, grain size, thickness and Ti/C ratio of films were increased. At the Ti target current of 500 mA, all deposited films on different substrates were TiC compound with grey color. In the experiment of increasing deposition time, the results showed that the crystallinity, surface roughness thickness and optical reflectance of TiC films were increased but on the other hand, the Ti/C ratio of film was decreased. The color measuring of CIE Lab* system showed that all deposited films with different deposition time were tone of grey	th_TH