ผลของพารามิเตอร์การเคลือบต่อโครงสร้างของฟิล์มบางไทเทเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยวิธีรีแอคตีฟโคสปัตเตอริง

Abstract

-