Abstract:
ฟิล์มบางนาโนของ TiOxNy หรือ ฟิล์มบางไททาเนียมออกไซด์เจือไนโตรเจน (N-doped TiO2) เคลือบบนกระจกสไลด์ และแผ่นซิลิกอน ด้วยวิธีแอคตีฟดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริง ผลของเงื่อนไข
การเคลือบได้แก่ อัตราไหลแก๊สไนโตรเจนได้ถูกศึกษา โดยสมบัติของฟิล์มบางที่เคลือบได้ ได้แก่ โครงสร้างเหล็ก ลักษณะพื้นผิว ความหนาและค่าการส่งผ่านแสง ถูกตรวจสอบด้วย X-ray diffraction (XRD), Atomic Force Microscopy (AFM) และสเปคโตรไฟโตมิเตอร์ตามลำดับ
ค่าคงที่ทางแสงและแถบพลังงานของฟิล์มที่เคลือบได้คำนวณจากสเปคตรัมการส่งผ่านแสง
ผลการศึกษาพบว่าระยะห่างระหว่างวัสดุรองรับกับเป้าสารเคลือบ กระแสไฟฟ้าและอัตราไหลแก๊ส
ไนโตรเจนมีผลต่อโครงสร้างและลักษณะพื้นผิวของฟิล์มที่เคลือบได้ ค่าคงที่ทางแสงของฟิล์มบาง
ไทเทเนียมไดออกไซด์เจือไนโตรเจนที่ความยาวคลื่นแสงเท่ากับ 550 nm พบว่ามีดัชนีหักเห และสัมประสิทธิ์การดับสูญ เท่ากับ 2.5 และ 0.001-0.002 ตามลำดับ แถบพลังงาน (Eg) ของฟิล์มบางไทเทเนียมไดออกไซด์เจือไนโตรเจนพบว่ามีค่า 2 ช่วงคือ 3.20 eV (ของฟิล์มไทเทเนียมไดออกไซด์เฟสอนาเรส) และ 2.40 eV-2.60 eV (ของฟิล์มไทเทเนียมไดออกไซด์เจือไนโตรเจน) โดยฟิล์มบางไทเทเนียมไดออกไซด์เจนไนโตรเจนที่เคลือบได้ในงานวิจัยนี้สามารถแสดงสมบัติไฮโดรฟิลิกได้เมื่อสัมผัสแสงในช่วงตามองเห็น