ท่อนาโนคาร์บอนแบบผนังหลายชั้นชนิดปรับปรุงผสมกับวัสดุไอโอโนเมอร์เพื่อประโยชน์ในการตรวจวัดแก๊ส

Abstract

ท่อนาโนคาร์บอนทำการสังเคราะห์ด้วยวิธีการตกเคลือบไอระเหยทางเคมี โดยใช้แผ่นฟิล์มบางนิกเกิลที่ขนาดความหนา 20 นาโนเมตรเป็นตัวคะดะลิสต์เคลือบบนแผ่นซิลิกอนด้วยวิธีดีซีสปัตเตอร์ริง ในการสังเคราะห์ท่อนาโนคาร์บอนด้วยวิธีไอระเหยทางเคมีที่อุณหภูมิ 700 C' และ 750 C' พบลักษณะทางสัณฐานวิทยาของท่อนาโนคาร์บอนเกิดอะมอฟัสคาร์บอนขึ้นเป็นจำนวนมากที่บริเวณผิว เมื่อท่อนาโนคาร์บอนที่สังเคราะห์ที่อุณหภูมิ 700 C' มาทดสอบการตรวจจับโมเลกุลของแก๊สแอมโมเนียที่ความเข้มข้นต่าง ๆ ที่อุณหภูมิห้อง, 50' C, 75'C และ 100'C พบการเปลี่ยนแปลงความต้านทานของท่อนาโนคาร์บอนสำหรับการตรวจจับแก๊สมีค่าความต้านทานเพิ่มขึ้นสัมพันธ์กับปริมาณความเข้มข้นที่เพิ่มขึ้นของโมเลกุลของแก๊สแอมโมเนียที่อุณหภูมิ 100 'C ผลของการตรวจจับโมเลกุลแก๊สแอมโมเนียของท่อนาโนคาร์บอน มีการเปลี่ยนแปลงความต้านทานที่สูงกว่าอุณหภูมิอื่น Carbon nanotubes (CNTs) were synthesized using thermal chemical vapor deposition (CAD) method. A Ni thin film 20 nm thick as the catalyst for CNTs growth was deposited on a Si substrate by dc sputtering method. In the CVD experiment to synthesis CNTs at 700 'C and 750 'C, the morphology of CNTs shows many amorphous carboons forming on the surface. The synthesized CNTs at 700'C was used to detect the different concentration of NH3 gas at room temperature, 50'C, 75'C and 100' C. Resistance change of CNT-based gas sensors increased with increasing NH3 gas concentration. At 100' C, the result of the CNT-based gas sensor showed a higher change of resistance than other temperature.