กรุณาใช้ตัวระบุนี้เพื่ออ้างอิงหรือเชื่อมต่อรายการนี้:
https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/17071| ชื่อเรื่อง: | ผลของพารามิเตอร์การเคลือบต่อโครงสร้างของฟิล์มบางไทเทเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยวิธีรีแอคตีฟโคสปัตเตอริง |
| ชื่อเรื่องอื่นๆ: | Effect of deposition parameters on structure of Tiain thin films deposited by reactive co-sputtering method |
| ผู้แต่ง/ผู้ร่วมงาน: | นิรันดร์ วิทิตอนันต์ พัชรี ภักดีเสน่หา มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์ |
| คำสำคัญ: | Science and Technology สปัตเตอริง (ฟิสิกส์)?' ฟิล์มบาง -- พื้นผิว กระจก -- พื้นผิว มหาวิทยาลัยบูรพา -- สาขาวิชาฟิสิกส์ ไททาเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์ |
| วันที่เผยแพร่: | 2557 |
| สำนักพิมพ์: | คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา |
| บทคัดย่อ: | |
| รายละเอียด: | วิทยานิพนธ์ (วท.ม.) -- มหาวิทยาลัยบูรพา, 2557 |
| URI: | https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/17071 |
| ปรากฏในกลุ่มข้อมูล: | วิทยานิพนธ์ (Theses) |
รายการทั้งหมดในระบบคิดีได้รับการคุ้มครองลิขสิทธิ์ มีการสงวนสิทธิ์เว้นแต่ที่ระบุไว้เป็นอื่น