1. Burapha University Research Information
2. Faculty of Science
3. วิทยานิพนธ์ (Theses)

ชื่อเรื่อง:	ผลของพารามิเตอร์การเคลือบต่อโครงสร้างของฟิล์มบางไทเทเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยวิธีรีแอคตีฟโคสปัตเตอริง
ชื่อเรื่องอื่นๆ:	Effect of deposition parameters on structure of Tiain thin films deposited by reactive co-sputtering method
ผู้แต่ง/ผู้ร่วมงาน:	นิรันดร์ วิทิตอนันต์ พัชรี ภักดีเสน่หา มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์
คำสำคัญ:	Science and Technology สปัตเตอริง (ฟิสิกส์)?' ฟิล์มบาง -- พื้นผิว กระจก -- พื้นผิว มหาวิทยาลัยบูรพา -- สาขาวิชาฟิสิกส์ ไททาเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์
วันที่เผยแพร่:	2557
สำนักพิมพ์:	คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา
บทคัดย่อ:
รายละเอียด:	วิทยานิพนธ์ (วท.ม.) -- มหาวิทยาลัยบูรพา, 2557
URI:	https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/17071
ปรากฏในกลุ่มข้อมูล:	วิทยานิพนธ์ (Theses)

รายการทั้งหมดในระบบคิดีได้รับการคุ้มครองลิขสิทธิ์ มีการสงวนสิทธิ์เว้นแต่ที่ระบุไว้เป็นอื่น