ผลของพารามิเตอร์การเคลือบต่อลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางโครเมียมเซอร์โคเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยวิธีรีแอคตีฟโคสปัตเตอริง

กรุณาใช้ตัวระบุนี้เพื่ออ้างอิงหรือเชื่อมต่อรายการนี้: https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/11707

ชื่อเรื่อง:	ผลของพารามิเตอร์การเคลือบต่อลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางโครเมียมเซอร์โคเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยวิธีรีแอคตีฟโคสปัตเตอริง
ชื่อเรื่องอื่นๆ:	Effect of deposition prmeters on chrcteristic of crzrn thin films deposited by rective co-sputtering method
ผู้แต่ง/ผู้ร่วมงาน:	นิรันดร์ วิทิตอนันต์ ทศพล ศรีเจริญ มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์
คำสำคัญ:	มหาวิทยาลัยบูรพา -- สาขาวิชาฟิสิกส์ Science and Technology ฟิล์มบาง -- พื้นผิว
วันที่เผยแพร่:	2559
สำนักพิมพ์:	คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา
บทคัดย่อ:
รายละเอียด:	วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--มหาวิทยาลัยบูรพา, 2559
URI:	https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/11707
ปรากฏในกลุ่มข้อมูล:	วิทยานิพนธ์ (Theses)

แฟ้มในรายการข้อมูลนี้:

แฟ้ม	รายละเอียด	ขนาด	รูปแบบ
55910149.pdf		7.36 MB	Adobe PDF	ดู/เปิด

รายการทั้งหมดในระบบคิดีได้รับการคุ้มครองลิขสิทธิ์ มีการสงวนสิทธิ์เว้นแต่ที่ระบุไว้เป็นอื่น