นิรันดร์ วิทิตอนันต์; สุรสิงห์ ไชยคุณ
(คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา, 2558)
ฟิล์มบางไทเทเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์ (TiAlN) เคลือบด้วยวิธีรีแอคตีฟโคสปัตเตอริง เพื่อศึกษาผลของ พารามิเตอร์การเคลือบได้แก่ อัตราไหลแก๊สไนโตรเจน และกำลังไฟฟ้าของเป้าไทเทเนียมต่อโครงสร้างของฟิล์ม ทั้งนี้โครงสร้างผลึก ลักษณะพื้นผิว ...