เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ

สุรสิงห์ ไชยคุณ; นิรันดร์ วิทิตอนันต์

dc.contributor.author	สุรสิงห์ ไชยคุณ
dc.contributor.author	นิรันดร์ วิทิตอนันต์
dc.contributor.other	มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์
dc.date.accessioned	2019-03-25T09:08:33Z
dc.date.available	2019-03-25T09:08:33Z
dc.date.issued	2558
dc.identifier.uri	http://dspace.lib.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/1669
dc.description.abstract	เครื่องเคลือบระบบระเหยสารสาหรับฟิล์มบางนาโนถูกสร้างและทดสอบในโครงการวิจัยนี้ เครื่องเคลือบที่สร้างมีส่วนประกอบหลัก 3 ส่วน ได้แก่ (1) ส่วนสุญญากาศ (vacuum parts) ประกอบด้วยห้องเคลือบทรงกระบอกทาจากสเตนเลส ความสูงเท่ากับ 285 mm มีเส้นผ่าศูนย์กลางเท่ากับ 205 mm และ ระบบ เครื่องสูบสุญญากาศใช้เครื่องสูบแพร่ไอซึ่งมีเครื่องสูบกลโรตารีเป็นเครื่องสูบท้าย พร้อมวาล์วและมาตรวัดความดัน (2) ส่วนการเคลือบ (coating parts) ประกอบด้วยตัวระเหยสารแบบลวดต้าน ภาคจ่ายไฟฟ้าแรงดันต่า-กระแสสูง และแท่นวางชิ้นงาน และ (3) ส่วนควบคุมการทางาน (control parts) สาหรับคุม ระบบสุญญากาศและการเคลือบ สาหรับผลการทดสอบเครื่องเคลือบใน 2 ด้านคือ (1) ด้านสุญญากาศ พบว่าเครื่องเคลือบที่สร้างขึ้นสามารถลดความดันในห้องเคลือบจากความดันบรรยากาศ (10+3 mbar) ลงมาเท่ากับ 4.5x10-5 mbar ในเวลา 10 นาที และ (2) ด้านการเคลือบ พบว่าสามารถเคลือบฟิล์มบาง อะลูมิเนียมที่มีลักษณะเนียบเรียบและสม่าเสมอดี	th_TH
dc.description.sponsorship	โครงการวิจัยประเภทงบประมาณเงินรายได้ จากเงินอุดหนุนจากรัฐบาล (งบประมาณแผ่นดิน) ประจาปีงบประมาณ พ.ศ. 2556	en
dc.language.iso	th	th_TH
dc.publisher	คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา	th_TH
dc.subject	ฟิล์มบางนาโน	th_TH
dc.subject	ฟิล์มบางอะลูมิเนียม	th_TH
dc.subject	ระบบระเหยสาร	th_TH
dc.subject	เครื่องเคลือบในสุญญากาศ	th_TH
dc.subject	สาขาวิทยาศาสตร์กายภาพและคณิตศาสตร์	th_TH
dc.title	เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ	th_TH
dc.title.alternative	Nano-Thin film coater by vacuum evaporation technique	en
dc.type	งานวิจัย
dc.year	2558
dc.description.abstractalternative	In this research project, the coating system for nano scale thin film by evaporation technique were constructed and tested. The coater has mainly 3 parts as (1) the vacuum part which composes of cylindrical stainless steel chamber with 285 mm of height, diameters of 205 mm. The vacuum pumping system consist of the oil diffusion pump back with the rotary pump, valves and pressure gauges, (2) the coating part composes of evapotator with wire resister type, low voltage-high current power supply and substrate holder, and (3) the control part for control vacuum and coating system. The coater system testing showed that (1) the vacuum test, the system can reduce pressure from atmospheric pressure (10+3 mbar) to order of 4.5x10-5 mbar in 10 minute and (2) the deposition test, showed the smooth and good uniform of Al thin film	en