การเตรียมและศึกษาลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางไทเทเนียมโครเมียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยวิธีแอคตีฟดีซีแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง

Show full item record