ผลของปริมาณโครเมียมต่อโครงสร้างของฟิล์มบางไทเทเนียมโครเมียมไนไตรด์ ที่เตรียมด้วยวิธีรีแอคตีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง

Abstract

ฟิล์มบางไทเทเนียมโครเมียมไนไตรด์ (TiCrN) เคลือบด้วยวิธีรีแอกทีฟดีซีแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง เพื่อศึกษาผลของปริมาณโครเมียมต่อโครงสร้างของฟิล์มที่เคลือบได้ โดย โครงสร้างผลึก โครงสร้างจุลภาคลักษณะพื้นผิว ความหนาและองค์ประกอบทางเคมี ศึกษาด้วยเทคนิค XRD, FE-SEM และ EDX ตามลำดับ ผลการศึกษาพบว่าฟิล์มที่เคลือบได้เป็นสารละลายของแข็งของ (Ti,Cr)N โดยโครงสร้างของฟิล์มเปลี่ยนตามอัตราไหลแก๊สไนโตรเจนและปริมาณโครเมียม (1) กรณีแปรค่าอัตราไหลแก๊สไนโตรเจน ขนาดผลึกของฟิล์มมีค่าในช่วง 14.9 – 31.7 nm และค่าคงที่แลตทิซมีค่าในช่วง 4.133 - 4.197 Å ส่วนความหนามีค่าลดลงจาก 1230 nm เป็น 480 nm เมื่อเพิ่มอัตราไหลแก๊สไนโตรเจน สำหรับการวิเคราะห์ภาคตัดขวางแสดง พบว่าฟิล์มที่เคลือบได้มีโครงสร้างแบบคอลัมนาร์และมีลักษณะแน่นมากขึ้นตามอัตราไหลแก๊สไนโตรเจนองค์ประกอบทางเคมีในฟิล์มแปรค่าตามอัตราไหลแก๊สไนโตรเจน และ (2) กรณีแปรค่าปริมาณโครเมียมขนาดผลึกของฟิล์มมีค่าในช่วง 22.4 – 41.6 nm และค่าคงที่แลตทิซมีค่าในช่วง 4.136 - 4.223 Å ส่วนความหนามีค่าลดลงจาก 1689 nm เป็น 642 nm เมื่อเพิ่มปริมาณโครเมียม ภาคตัดขวางแสดงว่าฟิล์มที่เคลือบได้มีโครงสร้างแบบคอลัมนาร์และมีลักษณะแน่นมากขึ้นตามปริมาณโครเมียม ส่วนองค์ประกอบทางเคมีในฟิล์มแปรค่าตามปริมาณโครเมียม