การเตรียมและศึกษาลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางโครเมียมวาเนเดียมไนไตรด์ ซึ่งเคลือบด้วยวิธีแอลดีฟ ดีซี แมกนีตรอน โคสบัตเตอริง

สิทธิวัฒน์ อุ่นจิตร

DSpace Home
→
Walai
→
Walai2553-2557
→
View Item

dc.contributor.advisor	สุรสิงห์ ไชยคุณ
dc.contributor.author	สิทธิวัฒน์ อุ่นจิตร
dc.contributor.other	มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์
dc.date.accessioned	2024-02-07T09:00:08Z
dc.date.available	2024-02-07T09:00:08Z
dc.date.issued	2557
dc.identifier.uri	https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/16997
dc.description	วิทยานิพนธ์ (วท.ม.) -- มหาวิทยาลัยบูรพา, 2557
dc.description.abstract
dc.language.iso	th
dc.publisher	คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา
dc.rights	มหาวิทยาลัยบูรพา
dc.subject	ฟิล์มบาง -- พื้นผิว
dc.subject	สปัตเตอริง (ฟิสิกส์)
dc.subject	Science and Technology
dc.subject	มหาวิทยาลัยบูรพา -- สาขาวิชาฟิสิกส์
dc.title	การเตรียมและศึกษาลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางโครเมียมวาเนเดียมไนไตรด์ ซึ่งเคลือบด้วยวิธีแอลดีฟ ดีซี แมกนีตรอน โคสบัตเตอริง
dc.title.alternative	Preparation and charaterization of CrVN thin films deposited by reactive dc magnetron co-sputtering
dc.type	วิทยานิพนธ์/ Thesis
dc.description.abstractalternative
dc.degree.level	ปริญญาโท
dc.degree.discipline	ฟิสิกส์
dc.degree.name	วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต
dc.degree.grantor	มหาวิทยาลัยบูรพา