การเตรียมและศึกษาลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางไทเทเนียมอลูมิเนียมไนไตรด์ด้วยวิธีรีแอคตีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง

อารีรัตน์ สมหวังสกุล

DSpace Home
→
Walai
→
Walai2553-2557
→
View Item

dc.contributor.advisor	สุรสิงห์ ไชยคุณ
dc.contributor.advisor	นิรันดร์ วิทิตอนันต์
dc.contributor.author	อารีรัตน์ สมหวังสกุล
dc.contributor.other	มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์
dc.date.accessioned	2024-02-07T07:50:24Z
dc.date.available	2024-02-07T07:50:24Z
dc.date.issued	2556
dc.identifier.uri	https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/16279
dc.description	วิทยานิพนธ์ (วท.ม.) -- มหาวิทยาลัยบูรพา, 2556
dc.description.abstract
dc.language.iso	th
dc.publisher	คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา
dc.rights	มหาวิทยาลัยบูรพา
dc.subject	Science and Technology
dc.subject	สปัตเตอริง (ฟิสิกส์)
dc.subject	ฟิล์มบาง -- พื้นผิว
dc.subject	มหาวิทยาลัยบูรพา -- สาขาวิชาฟิสิกส์
dc.subject	ฟิล์มไทเทเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์
dc.title	การเตรียมและศึกษาลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางไทเทเนียมอลูมิเนียมไนไตรด์ด้วยวิธีรีแอคตีฟแมกนีตรอนโคสปัตเตอริง
dc.title.alternative
dc.type	วิทยานิพนธ์/ Thesis
dc.description.abstractalternative
dc.degree.level	ปริญญาโท
dc.degree.discipline	ฟิสิกส์
dc.degree.name	วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต
dc.degree.grantor	มหาวิทยาลัยบูรพา