โครงสร้างและสมบัติทางแสงของฟิล์มบางอลูมิเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยวิธี รีแอคตีฟ ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริง

ชัยฤกษ์ ตั้งเฮงเจริญ

DSpace Home
→
Walai
→
Walai2553-2557
→
View Item

dc.contributor.advisor	นิรันดร์ วิทิตอนันต์
dc.contributor.advisor	อรรถพล เชยศุภเกตุ
dc.contributor.author	ชัยฤกษ์ ตั้งเฮงเจริญ
dc.contributor.other	มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์
dc.date.accessioned	2024-02-07T07:05:15Z
dc.date.available	2024-02-07T07:05:15Z
dc.date.issued	2555
dc.identifier.uri	https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/15872
dc.description	วิทยานิพนธ์ (วท.ม.) -- มหาวิทยาลัยบูรพา, 2555
dc.description.abstract
dc.language.iso	th
dc.publisher	คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา
dc.rights	มหาวิทยาลัยบูรพา
dc.subject	มหาวิทยาลัยบูรพา -- สาขาวิชาฟิสิกส์
dc.subject	Science and Technology
dc.subject	ฟิล์มบาง
dc.subject	สปัตเตอริง (ฟิสิกส์)
dc.title	โครงสร้างและสมบัติทางแสงของฟิล์มบางอลูมิเนียมไนไตรด์ที่เคลือบด้วยวิธี รีแอคตีฟ ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริง
dc.title.alternative
dc.type	วิทยานิพนธ์/ Thesis
dc.description.abstractalternative
dc.degree.level	ปริญญาโท
dc.degree.discipline	ฟิสิกส์
dc.degree.name	วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต
dc.degree.grantor	มหาวิทยาลัยบูรพา