ผลของอุณหภูมิการอบอ่อนที่มีต่อสมบัติของฟิล์มบางคอปเปอร์อลูมิเนียมออกไซด์ที่เตรียมโดยวิธีรีแอกทีฟ ดีซี แมกนีตรอน โค-สปัตเตอริง

พลากร ขวัญสูงเนิน

dc.contributor.advisor	สุรสิงห์ ไชยคุณ
dc.contributor.author	พลากร ขวัญสูงเนิน
dc.contributor.other	มหาวิทยาลัยบูรพา. คณะวิทยาศาสตร์
dc.date.accessioned	2024-01-25T08:05:48Z
dc.date.available	2024-01-25T08:05:48Z
dc.date.issued	2559
dc.identifier.uri	https://buuir.buu.ac.th/xmlui/handle/1234567890/11721
dc.description	วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--มหาวิทยาลัยบูรพา, 2559
dc.description.abstract
dc.language.iso	th
dc.publisher	คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา
dc.rights	มหาวิทยาลัยบูรพา
dc.subject	มหาวิทยาลัยบูรพา -- สาขาวิชาฟิสิกส์
dc.subject	Science and Technology
dc.subject	ฟิล์มบาง -- พื้นผิว
dc.title	ผลของอุณหภูมิการอบอ่อนที่มีต่อสมบัติของฟิล์มบางคอปเปอร์อลูมิเนียมออกไซด์ที่เตรียมโดยวิธีรีแอกทีฟ ดีซี แมกนีตรอน โค-สปัตเตอริง
dc.title.alternative	Effect of nneling temperture on properties of culo2 thin films prepred by rective dc mgnetron co-sputtering method
dc.type	วิทยานิพนธ์/ Thesis
dc.description.abstractalternative
dc.degree.level	ปริญญาโท
dc.degree.discipline	ฟิสิกส์
dc.degree.name	วิทยาศาสตรมหาบัณฑิต
dc.degree.grantor	มหาวิทยาลัยบูรพา