สุรสิงห์ ไชยคุณ; นิรันดร์ วิฑิตอนันต์; อดิศร บูรณวงศ์
(คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา, 2555)
ฟิล์มบางไททาเนียมอะลูมิเนียมไนไตรด์ (TiAlN) เคลือบด้วยเทคนิครีแอคทีพดีซีโคอันบาลานซ์แมกนีตรอน สบัตเตอร์ริง เพื่อศึกษาผลของกระแสอะลูมิเนียม (IAl) ต่อโครงสร้างผลึก องค์ประกอบธาตุ ลักษณะพื้นผิว ความหนา โครงสร้างจุลภาคและลัก ...